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【中国電化工業】高機能な特殊アルマイト皮膜を有するヤギマイト

高機能な特殊アルマイト皮膜を
有するヤギマイト
中国電化工業

ヤギマイトの断面SEM画像
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得意な加工技術・サービス

アルミニウムに陽極酸化被膜処理(通称アルマイト)の加工を行う。
当社が開発した「ヤギマイト」(特許第3803353号)は、アルマイト皮膜の最表面に厚さ1μmの新たな層を形成させ、超耐食性を確保する技術である。半導体製造装置の高度化が求められている中、従来のアルマイト皮膜では得られなかった真空特性や耐プラズマ性を有する高機能な特殊アルマイトの成膜技術を提供することで、半導体素子の構造の変更も可能になる。

展示のみどころ

特許技術であるヤギマイト皮膜が、半導体製造装置のウェーハプロセスにおける歩留まりの問題となっているアルミ真空チャンバー内のパーティクル発生を解消!


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お問い合わせ
  • 中国電化工業株式会社

    下松工場

    〒747-0833 山口県防府市浜方古浜62-1

    TEL:0835-22-2810

    FAX:0835-23-2971

    URL:http://www.cdknet.co.jp/