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【VAT】スイス発 真空バルブのグローバルリーダー

製品の特長
L-MOTION 角型ゲートバルブ/インサート
エッチャー、CVDのような過酷なプロセス用 Series 04.3/05.3
  • 実質的パーティクルフリー
  • 高速でスムーズな開閉動作
  • 均一で調整可能なシール力で押し付けることよりゲートシールの長寿命化が可能

半導体製造装置用のウエハー搬送用バルブです。VAT独自のアクチュエータによるL-MOTIONにより、パーティクルの発生を抑制します。また、バルブの高速動作はスループットの向上に貢献します。

標準開口サイズ
 50×336mm(1.97"×13.23")
 50×480mm(1.97"×18.90")
 56×496mm(2.20"×19.53")
 80×500mm(3.15"×19.69")
 100×800mm(3.94"×31.50") 以上はお問合せ下さい。
特長
  • 開および閉位置で圧空ロック機構
  • ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護
  • サービスカバーからの簡単なメンテナンス
TwinVAT 大型角型ゲートバルブ
FPD製造装置向けのユーザーフレンドリーなサービスの提供と軽量化を実現 Series 06.1
開口寸法:100×1000mm(3.94"×39.37") to 300×3800mm(11.81"×149.60")
  • 高速な開閉動作
  • パーティクルの発生が少ない(動作中の振動が少ない)
  • メンテナンス容易優れたCoO

FPD製造装置向けの基板搬送用バルブです。Twin-gate デザインにより、メンテナンス時に片方のチャンバの真空を保持しながらバルブのメンテナンスが可能。お客様のご要望に応じた柔軟な仕様変更ができます。

特長
  • Twin-gateデザイン:バルブのリークに対して2重の安全性の確保
  • 300×3800mmまでの開口の全てのバルブのフランジ面間距離は150mmとなっている。
  • 3種類のService positionでお客様のメンテナンスのご要望にお応え致します。
高温用コントロールアングルバルブ

高温環境下における半導体製造装置で安定した圧力制御を行います。熱交換器方式の導入により、真空露出されたベローズを均一に加熱。デポ付着を防止します。

特長
  • ボディ材質:アルミニウムまたはステンレススチール
  • 圧力制御および真空封止
  • 別置き圧力コントローラ
お問い合わせ
VAT株式会社
〒220-0056 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F
TEL:045-440-0341
URL:http://www.vatskk.co.jp/
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