広告企画 水ビジネス特集

野村マイクロ・サイエンス

野村マイクロ・サイエンスの「究める」強さ超純水で半導体の高性能化を支える失敗の歴史と専業の矜持で
技術を磨き、期待に応える

競技用の50mプールにわずか耳かき0.1杯分の不純物。それが、超純水の純度の高さだ。野村マイクロ・サイエンスは顧客の要望を基に超純水製造装置を提供するエンジニアリング会社。半導体メーカーを主要顧客とする。製造工程に不可欠な超純水が、半導体の高性能化を支えている。

超純水はもはや、理論純水であるH2Oに近い。素になる原水からあらゆる不純物を取り除き、その純水をさらに精製する。超純水の純度の高さは、高度な分析技術を駆使しても測定できないほどだ。

なぜ、そこまで純度にこだわるのか――。

超純水製造装置を納める顧客の柱は、半導体メーカー。ウエハーと呼ぶ基盤上に超微細な回路を形成していく工程で、使用する薬品の洗浄を繰り返す。その時、回路上に不純物が残らないように、それを徹底的に取り除く。

除去技術の組み合わせに
腕の見せ所

「半導体の集積度が上がるにつれ、要求水準も上がってきました。それに応えられるように技術の向上を図り、純度を高めてきたのです」。野村マイクロ・サイエンス取締役会長の千田豊作氏は胸を張る。

原水中の不純物は、イオン交換樹脂、逆浸透膜、紫外線酸化装置、脱酸素膜など、複数の技術で取り除く。これらの技術をどう組み合わせ、どう活用するかが、腕の見せ所だ。

不純物の分析技術も欠かせない。同社代表取締役社長執行役員の八巻由孝氏は「高額な機器だけあっても分析はできません。サンプルの採取から測定まで数々のノウハウも必要です」と言い切る。

高度な技術の連携で生み出した超純水製造装置を、要求性能を発揮できるように適切に運転・管理する技術もまた、持ち味の一つだ。納品先の近くには拠点を置き、必要な人材を配置。迅速なサービス体制の構築にも気を配る。

中央:取締役会長 千田豊作氏 右:代表取締役社長執行役員 八巻由孝氏 左:代表取締役副社長執行役員 内田 誠氏

中央:取締役会長 千田豊作氏
右:代表取締役社長執行役員 八巻由孝氏
左:代表取締役副社長執行役員 内田 誠氏

環境負荷低減への要望に応え
ノンケミカル装置を開発

強みは、超純水を専門領域とするエンジニアリング会社という点だ。代表取締役副社長執行役員の内田誠氏は「超純水というニッチな市場を水ビジネスの一つの領域としか捉えない企業とは姿勢が異なります」と、矜持を見せる。

顧客の要求にことごとく応えようとするのは、その一つの表れだ。八巻氏は「純度に満足していただく一方で、最近はコストやスペースの削減要求に加え、環境負荷低減のご要望が強い」と打ち明ける。

半導体に求められる要求性能が上がり、集積度が高まる中で、超純水の使用量は増えている。一方で、SDGs(持続可能な開発目標)の達成に向け、サステナビリティへの意識が高まっている。環境負荷の低減には真正面から取り組まざるを得ない。

対応策の一つは、原水から不純物を除去する過程で用いるイオン交換樹脂の再生方法の見直しだ。「通常は再生剤である酸やアルカリの薬品を使用しますが、薬品不要の逆浸透膜装置と電気再生式イオン交換装置を組み合わせた『ノンケミカル装置』も開発しています」(千田氏)。

超純水製造装置(水処理プラント) 使用後の水の一部は排水回収装置を経て再び原水として利用する仕組み。
分析センター。高純度化には超微量の不純物を分析する技術が欠かせない

左は超純水製造装置(水処理プラント)。使用後の水の一部は排水回収装置を経て再び原水として利用する仕組み。
右は分析センター。高純度化には超微量の不純物を分析する技術が欠かせない

サステナビリティに気を配り
超純水事業を一段と究める

超純水事業に進出以来、約半世紀。「失敗の歴史から得たものは大きい」と、千田氏は振り返る。その一つが、原水として使用する地下水や工業用水への柔軟な対応である。

地下水の水質は半導体工場の立地によって異なる。それでも、精製する超純水の水質に差を生じさせることはできない。ところが当初は、原水の不安定さに十分に対応できなかった。その経験が、環境変化に順応できる装置開発につながっている。

デジタル化の進展とともに半導体の需要は急増中だ。半導体メーカーのみならず、メーカーに原材料や製造装置を納める企業でも超純水の需要は高まる。市場の先行き見通しは明るい。内田氏は「環境負荷の低減にさらに貢献し、超純水事業を一段と究めたい」と意気込む。

将来に向けたキーワードは「サステナビリティ」である。

「顧客向けサービス体制や仕入れ先との協力関係の強化、また株主への配当や従業員への待遇、それぞれにバランスよく対応する一方、製造装置の自動化に向けたセンサー開発へ、協働する大学との連携強化を図りたい」。千田氏は将来をにらむ。

5つのマテリアリティ(重要課題)

2021年10月には「サステナビリティ基本方針」を定めた

野村マイクロ・サイエンス 株式会社

総務部

URL https://www.nomura-nms.co.jp

TEL 046-228-3946(代表)

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